探針的主要作用及不同領(lǐng)域的應(yīng)用解析

更新時(shí)間：2022-07-06 | 訪問量：3487

　　探針可以將質(zhì)譜測定技術(shù)與離子發(fā)射顯微鏡技術(shù)相結(jié)合作為現(xiàn)代儀器分析方法。能提供一般質(zhì)譜分析所不能提供的試樣微區(qū)質(zhì)譜。由于它能對(duì)固體物質(zhì)作微區(qū)、微量及深度成分分析，在某些條件下檢測靈敏度可達(dá)ppb數(shù)量級(jí)，因此被廣泛用于半導(dǎo)體、冶金、地質(zhì)和生物研究等部門。其原理是利用聚焦的高能一次離子束轟擊試樣表面，濺射出表征試樣成分的二次離子束，通過磁場完成質(zhì)荷比分離，根據(jù)二次離子的質(zhì)荷比和強(qiáng)度來進(jìn)行定性和定量分析。

　　探針的主要應(yīng)用領(lǐng)域有以下幾大常見的：

　　1.半導(dǎo)體材料

　　①表面、界面和體材料的雜質(zhì)分析；

　　②離子注入濃度及摻雜的測定；

　　③在實(shí)效分析方面的應(yīng)用。

　　2.金屬材料

　　①測定各種鋼材和合金表面的鈍化膜、滲氮層、氧化墨中的成分；

　　②測定各種金屬之間的相互擴(kuò)散、滲透，了解其性質(zhì)；

　　③測定鋼和金屬的析出相、夾雜物、碳化物的成分、稀土元素以及硼、磷等在鋼材晶界上的偏析；

　　④測定注入到金屬表層中的摻雜元素的深度分布；

　　⑤測定金屬表面的沾污和沾物的成分。

　　3.地質(zhì)礦物